16:50 〜 17:10
[H5-O10-03] Irradiation Techniques and Conditions of the 200 kV Ion-implanter at WERC
キーワード：Ion implanter, Ion irradiation, High current
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講演情報
Oral Session
H. Innovative Materials Processing for Sustainable Society » [H-5] Innovative Material Technologies Utilizing Ion Beams
[H5-O10] Slot 10
2021年12月16日(木) 16:00 〜 18:05 Room H (G420)
Chair: Setsuo Nakao (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Kohtaku Suzuki (The Wakasa Wan Energy Research Center)