[5a-A413-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

△ [5a-A413-7] 衝突輻射モデルに基づく発光分光計測によるアルゴンプロセスプラズマの診断のための原子過程モデル

〇(M2)山下 雄也¹、赤塚 洋² (1.東工大工学院、2.東工大研究院)

キーワード：プロセスプラズマ診断、発光分光計測、衝突輻射モデル

発光分光計測によるプロセスプラズマの電子温度・電子密度診断の確立のため，本研究では，アルゴンプラズマを対象に，衝突輻射モデルに基づく，原子過程モデルを作成した．準位6p’に対するポピュレーションつり合いの式を求めた結果，原子衝突を無視したモデルは，電子密度が10¹¹cm^–3以上のみで有効であること，低電子密度に対しては，原子衝突を考慮する必要があり，また分光計測困難な準位が関与することを示した．