[7p-PB4-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[7p-PB4-9] DLTS法によるBaSi₂エピタキシャル膜内の欠陥評価

〇佐藤 拓磨¹、髙部 涼太¹、小玉 小桃¹、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大数理物質)

キーワード：太陽電池、DLTS、欠陥