11:30 〜 11:45 [11a-M111-10] 大面積高速成膜に向けた線形高速分子線セルの開発 〇荻野 孝太1、松原 亮介2、鄭 敏喆1、小島 広孝1、辨天 宏明1、中村 雅一1 (1.奈良先端大物質、2.静岡大院工)