[1L07-09] ビーム計測と加速器技術

[1L09] 小型イオンマイクロビーム装置における負イオン発生技術の現状報告

*大久保 猛¹、石井 保行¹ (1. 量子科学技術研究開発機構)

キーワード：マイクロビーム、加速レンズ、PBW、PIXE、小型

イオンビームを数百keVに加速しながら1μm径に集束する小型イオンマイクロビーム装置で、ビーム径の縮小化を目的として水素負イオンマイクロビーム形成を試みた結果、ガスイオン源と直結しているビーム引出部分の低真空によりビームの大半が散乱、中性化されてしまうことが示唆されたことから、真空度を改善して負イオンビーム発生実験を行った。