[1L10-14] 放射線化学・生物学とガンマ線応用

[1L13] メタルレジスト配位子の放射線化学反応初期過程の解明

*山田 徹平¹、石原 智志¹、山本 洋揮²、室屋 裕佐¹、小室 嘉崇³、川名 大助³、山﨑 晃義³、古澤 孝弘¹ (1. 阪大産研、2. 量研機構、3. 東京応化)

キーワード：パルスラジオリシス、ガンマラジオリシス、次世代レジスト、配位子

高感度かつ耐エッチング性の高いメタルレジストは次世代フォトレジストとして注目されているが、そのビーム誘起反応のメカニズムについては未だによくわかっていない。そこで本研究では、パルスラジオリシス法とガンマラジオリシス法を用いてその反応メカニズムを調べた。