[3L09-12] 量子ビーム利用

[3L09] メタルレジスト配位子のビーム誘起反応初期過程の解明 (2)

*池内 健吾¹、大塚 友惠¹、室屋 裕佐¹、古澤 孝弘¹、池田 卓也²、小室 嘉崇²、川名 大助² (1. 阪大産研、2. 東京応化)

キーワード：パルスラジオリシス、メタルレジスト、カルボン酸配位子、ビーム誘起反応

カルボン酸配位子を持つメタルレジストは高感度かつ耐エッチング性が高いことから、次世代レジストとして注目されている。しかし、このレジストに対するビーム誘起反応のメカニズムについては未だによくわかっていない。そこで本研究では、パルスラジオリシス法を用いて、各種カルボン酸配位子の反応メカニズムについて調べた。