14:45 〜 15:00
〇佐藤 健太1、Loon Khoo1、野﨑 晃太1、伊﨑 昌伸1 (1. 豊橋技術科学大学)
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スケジュール
セッション情報
S14. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
【マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション2（一般講演2）
2018年3月9日(金) 14:45 〜 16:00 L会場 (講義棟408号室)
座長:品川 勉(大阪市立工業研究所)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．招待講演および一般講演で企画。
15:00 〜 15:15
〇渡久地 政周1、松本 悟1、佐藤 威友1 (1. 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター)
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スケジュール
15:15 〜 15:30
〇衣笠 佑宥乃1、川南 創平1、小泉 均1、安住 和久1 (1. 北海道大学)
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スケジュール
15:30 〜 15:45
〇柳原 龍河1、朝日 剛2、石橋 千英2、北本 仁孝1、小田原 修1、和田 裕之1 (1. 東京工業大学、2. 愛媛大学)
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スケジュール
15:45 〜 16:00
〇及川 隼平1、李 笑瑋1、南本 大穂1、村越 敬1 (1. 北海道大学)
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スケジュール