2018年3月9日(金) 13:15 〜 14:45 U会場 (講義棟508号室)

座長:新宮原 正三(関西大学)、早瀬 仁則(東京理科大学)

主催：電子材料委員会

半導体集積回路技術や電子実装技術等に用いられる電子材料技術においては，電気化学に基づく手法で様々な機能性電子材料や電子素子開発が検討されている．本シンポジウムでは，これらの機能性材料やマイクロからナノサイズに及ぶ電子素子に関連する最新の研究成果を相互に発表し，活発な討論を行うことを目的とする．具体的には，ナノメーターサイズのメモリやトランジスタなどの素子形成及び性能評価技術，3次元金属配線の形成及び材料技術，絶縁膜材料技術，ナノワイヤ・ナノ粒子の形成と素子化技術，めっき技術，CVD及びALD技術，化学エッチング技術，CMP技術，洗浄技術，及びこれらの技術分野に関連する評価・解析技術などの分野を包むものとする．なお本シンポジウムは，一般講演と招待講演から構成される．