【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1

[1U07] 金触媒を用いた選択的湿式Siエッチングにおける中間金属層の効果

〇丹羽 良輔¹、清水 智弘¹、松村 道雄²、伊藤 健¹、新宮原 正三¹ (1. 関西大学、2. 関西大学　先端科学技術推進機構)