電気化学会第87回大会

講演情報

印刷

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション2（特別講演/一般講演）

2020年3月19日(木) 14:10 〜 15:10 A2会場(分子/分子/電子材料) (2312)

主催：電子材料委員会

14:10 〜 14:40

[3B03(特別講演)] 最先端電子デバイスプロセスを拓く原子層エッチングプロセス技術の最前線

〇堀 勝1、関根 誠1 (1. 名古屋大学)