ISSP2024

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

Poster Session P5

2024年7月5日(金) 12:40 〜 14:40 Room P (Atrium)

12:40 〜 14:40

[P5-03] Effect of O content on self-propagating exothermic reaction in Ti/ SiOX multilayer films deposited by RF/DC sputtering

*Ryota Fukuda1, Takahiro Namazu1 (1. Kyoto University of Advanced Science)

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