IVC-22

講演情報

Parallel Sessions

Vacuum Science and Technology

[Thu-D1] Vacuum Science and Technology -- Vacuum Measurements, Diagnostics

2022年9月15日(木) 10:15 〜 12:15 Room D (Mid-sized Hall B)

12:00 〜 12:15

[Thu-D1-6] Evaluating low Pressure Resolution Limits for Optical Refractometry

*Jacob Ricker1, Kevin Douglass1, Jay Hendricks1, Sarah White2, Sergei Syssoev2 (1. National Institute of Standard and Technology (NIST) - USA (United States of America), 2. MKS Instruments Inc., Andover, MA USA (United States of America))

キーワード:standard, Refractometry, Gas Pressure

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