中性子反射率法による酸化膜フュージョン接合界面の構造解析

講演情報

一般演題

講演セッション » マイクロメカトロニクス実装技術

マイクロメカトロニクス実装技術(3)

2021年3月19日(金) 11:15 〜 12:00 Aセッション (Aセッション)

座長:多喜川良

11:15 〜 11:30

〇藤野真久¹、高橋健司¹、菊地克弥¹、宮田登²、宮崎司² (1. 国立研究開発法人　産業技術総合研究所、2. 一般財団法人　総合科学研究機構　中性子科学センター)

抄録パスワード認証
パスワードは参加登録いただいた方に、事前にメール配信しております。