[P] P84~P88

[P84] 低温から高温への二段階プラズマ窒化による窒化層の厚膜化

*宇都宮 智樹¹、西本 明生² (1. 関西大学（院生）、2. 関西大学)

キーワード：アクティブスクリーンプラズマ窒化、耐食性、S相、プラズマ窒化、表面改質

アクティブスクリーンプラズマ窒化において低温処理を施し試料表面部に窒素を濃化させ、その後高温短時間処理の二段階での窒化処理により窒素を内部まで拡散させた時のそれぞれの処理方法の比較調査を行った。