[P] P84~P88

[P85] Mechanical properties of Si-doped diamond-like carbon films

*Ryo SAGAYAMA¹, Akio NISHIMOTO² (1. 関西大理工 (院生)、2. 関西大)

Keywords:表面改質、ダイヤモンドライクカーボン、PACVD、トライボロジー

高硬度・耐摩耗性など優れた特性をもつダイヤモンドライクカーボン。ここにSiを添加し、5つの組成をもつSi含有DLCを作製した。Si量の変化がDLCの機械的特性に与える影響の調査を目的として実験を行った。