[P] 9.電気・磁気関連材料

[P112] Magnetic properties of rapid-crystallized Nd-Fe-B thin films by infrared laser annealing

*UCHIDA Tokunosuke¹, KOIKE Kunihiro¹, KATO Hiroaki¹, INABA Nobuyuki¹, ITAKURA Masaru², SAITO Yu³, OKUBO Susumu³, OTA Hitoshi³ (1. Yamagata Univ., 2. Kyushu Univ., 3. Kobe Univ.)

Keywords:Nd₂Fe₁₄B薄膜、保磁力、赤外レーザーアニール、結晶化

本研究では半導体赤外レーザー源を
用いた真空アニーリング装置によるNd-Fe-B 膜の結晶化を試み，Nd₂Fe₁₄B 相の結晶化に伴う高保磁力が確認された．