[P] 9.電気・磁気関連材料

[P118] Optical electrical characteristic improvement of ZnO-V and the ZnO-V-Al film

*KOIDE Takumi¹, Yamashita Yuuri², Yamane Haruki⁴, Kobayashi Masanobu³ (1. 千葉工大（院生）、2. 千葉工大（学生）、3. 千葉工大、4. 秋田産業技術センター)

Keywords:ZnO、酸化物半導体、透明電極、薄膜、V

ITOの代替材料として注目されているZnOをベースにVおよびAlを添加した際の光学的・電気的性質の変化を検討することを目的とした。