2:05 PM - 2:25 PM
[S2.4] Rapid LPE growth of SiC using micro-particle effect
Keywords:SiC、Gibbs-Thomson効果、液相成長、エピタキシャル成長
著者らは、微粒子系のGibbs-Thomson効果を利用した、SiCの高速成膜の研究を進めており、本稿では、Si溶媒ならびにSi-Cr溶媒中にSiC微粒子を保持した際に得られたSiC結晶のエピタキシャル成長挙動について報告する。
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