日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

講演情報

ポスターセッション

5.材料化学 » 材料化学

[P] P83~P89

2021年9月14日(火) 10:40 〜 12:10 Zoomポスター会場

10:40 〜 12:10

[P87] [(Cr, Al)1-X, YbX]N薄膜の成膜と硬度評価

*鈴木 芳明1、鈴木 常生1 (1. 長岡技科大(院生))

キーワード:硬質薄膜、PLD、(Cr, Al)N

CrNは第3元素の固溶により結晶格子が歪むことで硬度が向上する.本研究ではCrNに固溶することで相反する歪を与えると共に,固溶状態が非平衡相・平衡相と異なるAlNとYbNを固溶させ相構造と硬度への影響を調べる.

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