[P] P83~P89

[P86] Investigation of Si-DLC films by changing the source gas composition

*Ryo SAGAYAMA¹, Akio Akio² (1. 関西大理工（院生）、2. 関西大)

Keywords:ダイヤモンドライクカーボン、Si-DLC、プラズマCVD、表面改質、トライボロジー

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）にSiを添加した、Si-DLCに関する研究を行った。原料ガス組成を変化させたことによる、密着性、摩擦摩耗特性をはじめとする各種特性の違いついて調査を行った。