[P] P83~P89

[P87] Preparation and Hardness Evaluation of [(Cr, Al) _1-X, Yb_X] N Thin Films

*Yoshiaki SUZUKI¹, Tsuneo Tsuneo¹ (1. 長岡技科大(院生))

Keywords:硬質薄膜、PLD、(Cr, Al)N

CrNは第3元素の固溶により結晶格子が歪むことで硬度が向上する．本研究ではCrNに固溶することで相反する歪を与えると共に，固溶状態が非平衡相・平衡相と異なるAlNとYbNを固溶させ相構造と硬度への影響を調べる．