[S3] ナノ・マイクロスペーステイラリングV

[S3.5] アモルファスSiO₂へのイオン注入制御によるAg-Ni複合粒子の微細構造

*山田 智子¹、岩瀬 彰宏^2,3、松井 利之²、前川 雅樹⁴、河裾 厚男⁴、谷本 久典⁵、堀 史説² (1. 大阪府大工(院生)、2. 大阪府大工、3. 若狭湾エネ研、4. 量研機構高崎、5. 筑波大)

キーワード：ナノ粒子、アモルファスガラス、イオン照射、照射順序

本研究ではイオン注入法を利用したSiO₂アモルファス内にAg-Ni複合粒子を合成を目的とし，金属イオンの照射順序による複合粒子の微細構造の変化について観察した．