[S3] Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions V

[S3.6] Nano/Micro-Protrusion of Aluminum and Its Alloys Fabricated by Ga Ion Irradiation

*Shun-Ichiro TANAKA¹, Shogo ODA² (1. Tohoku University, μSIC, 2. Graduate Student, Tohoku Iniv. (YKKAP Inc.))

Keywords:励起反応場、ナノ・マイクロ突起体、アルミニウム合金、イオン照射

Gaイオン照射でアルミニウム基ナノ・マイクロ突起体構造を造成した。トップダウン効果の方が主になるが、イオン源を向く円錐体状突起がボトムアップ的に形成することができた。