[P] P4~P12

[P7] プラズマ・ガス凝縮法で作製したFe-Co/Fe-Co-Ptナノコンポジット薄膜の磁気特性

*石川 蓮太¹、奥野 翔太¹、日原 岳彦²、宮崎 怜雄奈² (1. 名工大工（院生）、2. 名工大工)

キーワード：ナノコンポジット磁石、Fe-Co/Fe-Co-Pt、気相合成法、ナノ粒子、交換結合、規則化熱処理

FePt/Fe系にCoを加えた三元系ナノコンポジット磁石を気相合成法により作製した。基板バイアスにより粒子間の交換結合を制御でき、また、その際課題となった粒径増大をRTA処理により抑制できることが確認された。