[P] P216~P235

[P217] 金属V箔の精密酸化制御によるバナジウム酸化物薄膜の作製

*永田 美豊¹、松田 光弘²、姫野 雄太¹、志田 賢二³、松田 元秀² (1. 熊本大学　自然科学　(院生)、2. 熊本大学　先端科学、3. 熊本大学　技術部)

キーワード：バナジウム酸化物、精密酸化制御、薄膜、構造解析

熱処理時の酸素分圧を制御することでバナジウムや酸素の拡散特性や酸素欠損を制御可能であると予想され、出発材料に金属V箔を用い、種々のバナジウム酸化物薄膜を作製し、その微細構造解析を行う。