15:30 〜 15:45
[125] スパッタリングターゲットにα-Fe2O3を用いたGe添加Fe3O4ナノ結晶薄膜の耐酸化性
キーワード：薄膜、鉄酸化物、ドーピング、耐酸化性、無機材料
表記のナノ結晶薄膜について検討を行った。その結果、結晶粒のサイズが10nmよりも微小化すると，鉄欠損の導入が促進されることが明らかになった．
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