[P] P3~P7

[P7] Low-temperature crystallization of Ge thin films using AuSb catalyst

*Ayano MORIYA¹, Kentaro KYUNO^1,2 (1. 芝浦工業大学大学院、2. 芝浦工業大学グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

Keywords:半導体、薄膜、結晶成長

AuSb薄膜を触媒としてGe薄膜を結晶化した。加熱の保持温度を変化させ、物性や薄膜構造の変化を調べた。AuとGeの共晶温度よりも低温で結晶化した。