[S8] S8.機能コアの材料科学 V（1）

[S8.6] 電圧印加その場DPC STEMによるpn接合空乏層の電場応答解析

*小島 嘉文¹、遠山 慧子¹、関 岳人^1,2、幾原 雄一^1,3、柴田 直哉^1,3 (1. 東大総研機構、2. JSTさきがけ、3. JFCC)

キーワード：走査透過電子顕微鏡法、DPC STEM、その場観察、電子デバイス

微分位相コントラスト走査透過電子顕微鏡法(DPC STEM)による動作状態のデバイス材料局所電場・電荷挙動解析手法の開発を目的として、pn接合空乏層電場応答の観察および定量解析を実際に行った。