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[S4.6] MoSiBTiC合金へのFIB-SEMシリアルセクショニングによる3D組織解析技術の応用
キーワード:3D組織解析、MoSiBTiC合金、FIB-SEM
MoSiBTiC合金のバルクと微粒子の両方について、FIB-SEMシリアルセクショニングの手法を用いて三次元的に組織解析を行う手法を検討した。その技術的進展と実施例を紹介する。
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