[P] P95~P98

[P98] In-situ Raman spectroscopic measurement of PEO reaction on Ti surface

*Isei MURATA¹, Eri MIURA¹ (1. Graduate School of Engineering University of Hyogo)

Keywords:Ti、陽極酸化、Raman分光法、PEO反応、絶縁破壊

Ti酸化膜の成膜方法の一種にプラズマ電解酸化(Plasma electrolytic oxidation, PEO)法がある. 成膜過程をその場観察セルを用いてRaman分光分析を行い, Ti表面で起こる反応のIn-situ での分析を試みた.