12:00 〜 13:30
[P98] TiのPEO反応のIn-situ Raman 分光測定
キーワード：Ti、陽極酸化、Raman分光法、PEO反応、絶縁破壊
Ti酸化膜の成膜方法の一種にプラズマ電解酸化(Plasma electrolytic oxidation, PEO)法がある. 成膜過程をその場観察セルを用いてRaman分光分析を行い, Ti表面で起こる反応のIn-situ での分析を試みた.
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