[P] P175~P182

[P177] 円形配列Sm(Fe-Co)-Bパターンの作製とドット径による磁気特性の変化

*伊藤 慎梧¹、佐藤 聖真¹、畑中 辰汰朗、土井 正晶¹、嶋 敏之¹ (1. 東北学院大工)

キーワード：Coercivity、Microfabrication、Thin film、ThMn₁₂-type structure

Sm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂-B薄膜の更なる保磁力向上を目的とし、Sm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂-B 薄膜のドット径を変化させて作製した配列パターンを微細加工法により形成し、ドット径の変化による磁気特性への影響を調査した。