16:00 〜 17:30 [P301] CrNを高圧相ZnOに置換固溶させたCr-Zn-N-O薄膜の合成と硬度評価 *水谷 建太1、カイルルアブラル ビンオン1、澤谷 柊1、鈴木 常生1 (1. 長岡技科大) キーワード:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度 本研究では超高真空下でPLD法によりCr-Zn-N-Oの合成を試みた。結果より、成膜により得た薄膜は(Cr, Zn)(N, O)とZnOの2相構造となり、硬度も純ZnO薄膜より上昇した。