[P] P293~P306

[P301] CrNを高圧相ZnOに置換固溶させたCr-Zn-N-O薄膜の合成と硬度評価

*水谷 建太¹、カイルルアブラル ビンオン¹、澤谷 柊¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度

本研究では超高真空下でPLD法によりCr-Zn-N-Oの合成を試みた。結果より、成膜により得た薄膜は(Cr, Zn)(N, O)とZnOの2相構造となり、硬度も純ZnO薄膜より上昇した。