16:00 〜 17:30 [P245] リン添加Si単結晶における臨界分解剪断応力の温度依存性と転位運動 *杉薗 統眞1、森川 龍哉2、山﨑 重人2、田中 將己2、藤瀬 淳3、小野 敏昭3 (1. 九州大工(院生)、2. 九州大工、3. (株)SUMCO) キーワード:P-Si、臨界分解剪断応力、降伏応力、転位運動、活性化エネルギー Pを添加したSi単結晶について降伏応力の温度依存性を調べ、P濃度による差を考察した。また、塑性変形の活性化エネルギーを調べることでSiの塑性変形メカニズムについて考察した。