日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

講演情報

一般講演

9.電気・磁気 関連材料 » 磁性材料

[G] スピントロニクス・ナノ磁性材料/磁気機能材料

2024年9月20日(金) 09:00 〜 12:30 B会場 (全学教育推進機構講義A棟地階A002)

座長:梅津 理恵(東北大学)、白土 優(大阪大学)

10:00 〜 10:15

[67] X線小角散乱法によるナノグラニュラー膜の厚さ方向構造評価法の検討

*長谷川 琢斗1、青木 英恵3、増本 博3、大沼 正人2 (1. 北大(院生)、2. 北大、3. 東北大)

キーワード:X線小角散乱法、ナノグラニュラー膜、光デバイス、タンデムスパッタリング、構造異方性

タンデムスパッタリングにより作製された、磁性体粒子が膜厚方向に異方的に分散したナノグラニュラー膜を、試料ホルダー内にスペーサーを設けることでX線入射角を変化させながらラボSAXS法により測定した。

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン