[G] スピントロニクス・ナノ磁性材料／磁気機能材料

[69] ナノグラニュラー薄膜のトンネル伝導に基づくゲージ効果

*小林 伸聖¹、長谷川 唯¹、早坂 淳一¹、内山 智元²、増本 博²、早稲田 嘉夫¹ (1. 電磁研、2. 東北大・学際研)

キーワード：ナノグラニュラー、ゲージ効果、トンネル伝導、ひずみ感度、Co-Ba-F

室温以上の温度でゲージ効果を発現するナノグラニュラー薄膜の開発を目的とし、Co-BaFナノグラニュラー薄膜を選択し、ゲージ率および膜構造について検討した結果を報告する。