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[S7.7] 溶融Fe-Cr-Ni合金を用いた溶液成長法によるAlN結晶成長に及ぼす基板回転の効果
キーワード：窒化アルミニウム、溶液成長法、結晶成長、鉄－クロム－ニッケル合金、溶解度積
Fe-Ni-Cr合金の一例としてSUS304Lをフラックスとして用いた溶液成長法によりサファイア基板上にAlN膜を製膜したテンプレート基板上にAlN結晶を成長させ，その成長挙動に及ぼす基板回転の効果について報告する．
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