[P] P39~P46

[P42] 斜入射反応性スパッタリング法により作製したTiO₂薄膜の微細構造に対する酸素流量の影響

*陳 宇聡¹、井上 泰志²、高井 治³ (1. 千葉工大院工、2. 千葉工大院工、3. 関東学院大材料・表面研)

キーワード：TiO₂薄膜、斜入射スパッタリング、微細構造、結晶性、酸素流量

成膜中の基板を加熱することで斜入射TiO₂薄膜の部分的な離散的柱状構造化の向上ができたが、基板温度が高いことで結晶の離散性が低かった。Ti原子のマイグレーションを制御するために酸素分圧をパラメータとした。