出展者情報

[T-3] エム・イー・エス・アフティ(株)

■パネル（ALD/ECRシステム紹介）　サイズ：A1　個数：4枚 ■成膜サンプル（Si基板上に成膜したサンプル）　　サイズ：φ3"～φ8"　個数：複数枚