■RFイオン銃 ■PIGイオン銃 ■X線発生用電子銃

■有機EL作成装置・各種蒸着／分析装置用コンポーネント展示 ■各種導入機（直線・回転導入機） ■各種加工部品（特殊材料・セラミックス） ■真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中 ■〔PREVAC社製〕電子銃、紫外線源、膜厚モニターなど

■ダイヤフラムバルブ ■ベローズバルブ ■高純度ガス用継手 ■真空バルブ ■PFA製ダイヤフラムバルブ ■PFA製チューブ溶着継手 ■ウェットシステム（帯電防止装置、純水昇圧装置） ■その他（成生物付着防止昇温システム、ゲートバルブ、バタフライバルブ、ボールバルブ）

■SiCウエハ(3~6インチ）、薄膜ウエハ（20~150um厚)、矩形ウエハ（□125mm等）、3次元実装用Chi等多様化するご要求に対して、既存の半導体装置を無改造で使用できる搬送キャリア（Silicon Carrier:SC）を製造販売中。 ■露光装置用SC・エッチャ用SC・イオン注入用SC・アニール用SC等 ■静電チャック対応SC、耐熱SCや450mmウエハ対応の装置開発用SC等 ■三...

■研究開発向け各種受託成膜加工 ■ナノインプリント受託加工 ■研究開発向けスピンコーター【Polos】

■He-Cdレーザ ■Blue Violetレーザ

■ナノ微粒子分散溶液、有機溶剤、水、タンパク質などをplオーダーで吐出する樹脂製インクジェットヘッド、「パルスインジェクター」。発売から5年が経過したくさんの方々に様々な用途でご使用いただいています。おかげさまで当製品開発メンバーが「第3回ものづくり日本大賞　優秀賞」も受賞致しました。今回の展示では皆様からの声に応えて誕生した新製品、パルスインジェクター専用描画・観察用ステージ「Inkjet...

■酸化物単結晶 ■金属単結晶 ■半導体単結晶 ■フッ化物・アルカリハライド単結晶 ■セラミックス、合成石英 ■クリスタルカッター

■GaN MBE システム ■高温蒸発源TUBOセル ■RHEED解析システム ■LT-STM/AFMシステム

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポットサイズ2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■プラズマエミッションモニタ(分光分析システム)CrevPEM ■表面形状分析システム　 ShapeAnalyzer ■原子スペクトルデータ検索ツール　AtomSpectraDBViewer

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■株式会社KRI　材料解析研究センターの解析事例のご紹介 ■高機能X線回折装置を用いた解析事例のご紹介 ■二次電池の劣化評価事例のご紹介

■マグネトロンスパッタ源 ■特殊スパッタ源 ■スパッタ装置 ■複合型薄膜作製装置 ■排気装置

■研究成果等のパネル

■CVD材料 ■スパッタリングターゲット ■各種粉末 ■粒状材料 ■スピンコート材料 ■その他

■高精度形状測定システムDyvoce (ダイボス)3000は、ワークに最適な変位計を用いる非接触形状測定システムです。高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

■マイクロ波プラズマCVD装置(Seki Diamond Systems) ■ロックインアンプ(Stanford Research Systems) ■残留ガスアナライザ(Stanford Research Systems) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGXsensortech) ■赤外線カメラ/赤外線サーモグラフィー(FLIR Systems) ■屈折率･膜厚測定装置(Met...

■微細形状測定機等のPR