[17a-C1-1~8] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

2013年9月17日(火) 09:45 〜 11:45 C1 (TC3 1F-101)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:45 〜 10:00

[17a-C1-1] VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成とプラズマ計測

^○小川勇人¹，福岡侑士¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ工学研究センター²)

10:00 〜 10:15

節原裕一¹，^○竹中弘祐¹，大谷浩史¹，金井厚毅¹，大崎創一郎¹，江部明憲² (阪大接合研¹，イー・エム・ディー²)

10:15 〜 10:30

^○竹中弘祐，節原裕一 (阪大接合研)

10:30 〜 10:45

^○（M2）孫昿達¹，竹田圭吾¹，伊藤仁^1,2，近藤博基¹，石川健治¹，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，東京エレクトロン²)

10:45 〜 11:00

^○Susumu Toko，金淵元，橋本優史，金光善徳，徐鉉雄，内田儀一郎，鎌滝晋礼，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治 (九大)

11:00 〜 11:15

^○（M2）野阪幸平¹，石島達夫¹，田中康規¹，上杉喜彦¹，堀邊英夫²，後藤洋介² (金沢大¹，金沢工大²)

11:15 〜 11:30

^○井上貴史¹，市來龍大¹，山本宏文¹，吉田昌史²，赤峰修一¹，金澤誠司¹ (大分大工¹，静岡理工科大²)

11:30 〜 11:45

^○吉光祐樹¹，市來龍大¹，神田祥吾¹，吉田昌史²，赤峰修一¹ (大分大工¹，静岡理工科大²)