[16a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-B5-1] MBE法により作製したScN薄膜の電気特性

^○大垣武，渡邉賢，坂口勲，大橋直樹，羽田肇 (物材機構)

キーワード：ScN