[16a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-B5-4] 4H-SiC上の疑似Al基板製作と疑似基板上へのGaN RF-MBE成長

^○大澤真弥，多次見大樹，山口智広，本田徹 (工学院大)

キーワード：半導体,疑似Al基板