[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-10] シリコン中Cuセンタのバンドギャップ内エネルギーレベル

^○中村稔¹，村上進²，鵜殿治彦¹ (茨城大工¹，日立日立研²)

キーワード：copper center,energy level,silicon