[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-6] 低温超音波測定と2次欠陥測定によるCZシリコン結晶中の原子空孔評価(3) 空孔数総和側と隠されたＢＭＤ

^○金田寛^1,2，斎藤広幸³，岡部和樹^2,3，鹿島一日兒³，斉藤芳彦⁴，根本祐一²，後藤輝孝² (九工大　院　工¹，新潟大　院　自然²，グローバルウェーハズ・ジャパン³，東芝⁴)

キーワード：シリコン,原子空孔,ボイド