[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-7] シリコン結晶中の置換型炭素不純物による室温1206 cm^－1赤外吸収線と非調和局在振動

^○金田寛¹，小野春彦² (九州工大　院工　電気電子¹，神奈川県産業技術センター²)

キーワード：シリコン,炭素不純物,赤外吸収