15:30 〜 15:45
[16p-B2-8] パワーデバイス用Siエピウェーハにおける炭素不純物のPL評価
キーワード：シリコン,フォトルミネッセンス,カーボン
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥
[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥
2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:15 B2 (TC2 1F-102)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥
2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:15 B2 (TC2 1F-102)
15:30 〜 15:45
キーワード：シリコン,フォトルミネッセンス,カーボン