2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[16p-D6-1~16] 14.4 光物性・発光デバイス

2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 D6 (MK 3F-301)

13:30 〜 13:45

[16p-D6-3] 反応性スパッタリング法による窒素添加シリコンナノ粒子の作製

伊藤駿,佐藤慶介,平栗健二 (東京電機大)

キーワード:シリコンナノ粒子